주사전자현미경은 전자 현미경의 한 종류로, 전자 빔을 표본에 주사하여 상을 얻는 현미경임.

- 장비 가동 방법

1. Mini SEM 장비의 Power 버튼을 눌러 Mini SEM 장비 가동
2. 장비가 켜지면 Exchange 버튼을 눌러 Mini SEM 내부의 진공을 잡음.
3. 두 버튼 사이에 빨간줄이 다 올라가고 신호음이 들리면 진공 상태가 완료됨.
4. 스테이지 로딩을 위해 진공이 완료되면 다시 Exchange 버튼을 눌러서 Vent 진행.
5. 스테이지 위치 조정은

(1) X는 X축 방향으로 위치 조정.

(2) Y는 Y축 방향으로 위치 조정.

(3) R은 스테이지 각도 조절. (단면 검사할 때 사용함)

- 시료 준비

1. 스테이지 위에 먼저 양면 Carbon tape 붙임.
2. 시료를 Carbon tape에 로딩.

(1) 파우더 샘플은 이쑤시개로 살짝 묻혀서 Carbon tape에 로딩.

(2) 유리 및 3D 물체는 5mm 크기로 잘라서 Carbon tape에 로딩.

3. Pt 코팅 장비에 스테이지를 넣고 뚜껑을 닫음.
4. 전원 On 후 Start 누르면 시작. (1~2분 정도 기다리면 진행, 만약 진행이 안되면 뚜껑 잘 닫혀있는지 확인)
5. 스테이지 로딩 후 exchange 눌러서 진공.

- 소프트웨어 조작

1. 바탕화면 Mini SEM 소프트웨어에 접속
2. Operation 창에서 Start 클릭.
3. Emission Current가 100uA 이상인지 확인.
4. 소프트웨어 화면에 촬영할 샘플을 스테위지 위치 조절을 통해 화면에 보이도록 설정.
5. 소프트웨어에서 초점, 밝기 조절을 통해 샘플의 해상도를 결정.
6. 이미지 저장 및 저장 해상도 조절.

- 사용 후

1. Mini SEM 장비를 작동시킨 순서 반대로 진행.
2. Exchange 버튼을 눌러서 내부 Vent 시킨 뒤 샘플 제거. (두 버튼 사이의 빨간 줄이 사라지고 신호음이 들리면 Vent 완료)
3. Exchange 버튼을 눌러서 내부 진공 잡은 후 Power 버튼 눌러서 장비 Off.

- 주의사항

1. 사용 후 진공 상태를 유지시키고 장비전원 끄고 사용 마무리.
2. 사용 후 소프트웨어 및 컴퓨터 전원 off.
3. 관찬할 시료의 종류 및 크기 확인 후 사용. (500배 이상 배율은 과찰 불가, 유기 물질이면 전자빔에 녹을 수 있음)
4. 고배율 관찰 (1000배 이상) 및 EDS 분석을 희망한다면 타 기관에 문의.