보유장비 및 예약

알파스텝 프로파일러
Alpha-step Profiler
알파스텝 프로파일러
• 설치장소
D동 B107호
• 모델
Alpha Step IQ2
• 제조사
KLA Tencor
• 담당자
담당자(1) 이지호 / deewigo@snu.ac.kr
담당자(2) 이찬 / leec0312@naver.com
정상
  • Sample size: Max 6 inch
  • Measurement resolution: 1 angstrom
  • Scan length: 10 mm
  • Scan speed: 2 ㎛/s to 200 ㎛/s
  • Zoom optics: Magnification up to 210x

타 연구실 aiq 파일 사용하지 않도록 주의 바랍니다.

Tip이 외부 충격에 의해 흔들릴 경우 Tip이 너무 천천히 내려가거나 (10 ㎛/s 정도) 완전히 내려가지 않고 멈출 수 있습니다.

이때는 1분 정도 Tip 움직임이 안정될 때까지 기다렸다가 다시 진행하시면 됩니다.

측정은 정확히 계면에서 시작하지 않고 계면에서 100 ㎛ 정도 떨어진 곳에서 시작해야 깔끔한 Profile을 얻을 수 있습니다.

장비 예약 권한은 사용자 교육이 완료된 후 부여됩니다!